源漏对称可互换的双向隧穿场效应晶体管及其制造方法
摘要:
本发明涉及一种源漏对称可互换的双向隧穿场效应晶体管及其制造方法。本发明所述器件具有左右对称的结构特征,通过调节源漏可互换电极电压控制第二类杂质重掺杂源漏可互换区作为源区或漏区,改变隧穿电流方向。本发明具有低静态功耗、高正反向电流比、低反向泄漏电流特性、低亚阈值摆幅和可实现双向开关功能的优点。对比于普通MOSFETs型器件,利用隧穿效应实现更优秀的开关特性;对比于普通的隧穿场效应晶体管,本发明具有普通的隧穿场效应晶体管所不具备的源漏可互换的双向对称开关特性,因此适合推广应用。
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