一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法
摘要:
本发明属于气体传感技术领域,具体是一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法。解决了现有气体传感器有线连接,安装不方便,使用周期短等问题,包括上表面金属层、下表面金属层以及设置在中间的LTCC氧化铝陶瓷片,上表面金属层、下表面金属层和LTCC氧化铝陶瓷片组成基片,基片周侧设有一圈基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔,以此构成基于基片集成波导的结构,基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔内填充有银浆料,基片中部设有气体敏感结构,上表面金属层表面设有缝隙天线。本发明充分利用了基片集成波导谐振器具有高的品质因数,低损耗等优点,可以有效的增大无线测试的距离。
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