- 专利标题: 一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法
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申请号: CN201710735159.1申请日: 2017-08-24
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公开(公告)号: CN107677707B公开(公告)日: 2020-02-18
- 发明人: 谭秋林 , 熊继军 , 郭彦杰 , 张磊 , 逯斐 , 郭晓威 , 董和磊 , 张文栋
- 申请人: 中北大学
- 申请人地址: 山西省太原市学院路3号
- 专利权人: 中北大学
- 当前专利权人: 中北大学
- 当前专利权人地址: 山西省太原市学院路3号
- 代理机构: 太原晋科知识产权代理事务所
- 代理商 任林芳
- 主分类号: G01N27/12
- IPC分类号: G01N27/12
摘要:
本发明属于气体传感技术领域,具体是一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法。解决了现有气体传感器有线连接,安装不方便,使用周期短等问题,包括上表面金属层、下表面金属层以及设置在中间的LTCC氧化铝陶瓷片,上表面金属层、下表面金属层和LTCC氧化铝陶瓷片组成基片,基片周侧设有一圈基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔,以此构成基于基片集成波导的结构,基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔内填充有银浆料,基片中部设有气体敏感结构,上表面金属层表面设有缝隙天线。本发明充分利用了基片集成波导谐振器具有高的品质因数,低损耗等优点,可以有效的增大无线测试的距离。
公开/授权文献
- CN107677707A 一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法 公开/授权日:2018-02-09