本发明公开了一种掩模板挠度检测装置、调节装置及检测和调节方法，以降低掩模板在蒸镀显示基板的时候由于掩模板下垂从而产生蒸镀阴影的情况，提高显示面板的良品率并提高显示效率。该掩模板挠度检测装置包括：光发射器、光接收器、光路调整机构和两个光路构件，两个光路构件紧贴设置于掩模板下侧表面的两端，光路构件内部具有多个反射面，且两个光路构件在掩模板下侧表面处形成有光路通道，当掩模板下垂产生挠度则部分或完全遮挡光路通道；光发生器用于向光路通道中发射检测光线，光接收器用于接收检测光线；光路调整机构安装于两个光路构件处，用于调整光路通道中的检测光线不被遮挡。