发明授权
- 专利标题： 硅氧烷聚合物组合物及其用途
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申请号： CN201680015423.8申请日： 2016-03-17
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公开(公告)号： CN107636097B公开(公告)日： 2024-03-15
- 发明人: A·凯尔凯宁 , M·汉努-库雷 , A·哈季奇 , J·莱沃 , H·耶尔维塔洛 , R-L·库瓦亚 , G·戈登 , M·佩索宁
- 申请人： 奥普提汀公司
- 申请人地址： 芬兰奥卢
- 专利权人： 奥普提汀公司
- 当前专利权人： 奥普提汀公司
- 当前专利权人地址： 芬兰奥卢
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 王丹丹; 刘金辉
- 国际申请： PCT/FI2016/050166 2016.03.17
- 国际公布： WO2016/146896 EN 2016.09.22
- 进入国家日期： 2017-09-13
- 主分类号： C08G77/06
- IPC分类号： C08G77/06 ; C08G77/52 ; C08G77/50 ; C08G77/20 ; C08G77/14 ; C09D183/14 ; G03F7/038 ; G03F7/075
摘要：
本发明涉及硅氧烷聚合物组合物。本发明尤其涉及具有适合用于光刻制造方法中的性能的硅氧烷聚合物组合物。本发明还涉及该类组合物的合成、聚合和交联。
公开/授权文献
- CN107636097A 新型硅氧烷聚合物组合物及其用途 公开/授权日：2018-01-26
