IGBT芯片制造方法及IGBT芯片
摘要:
本发明提供了一种IGBT芯片制造方法及IGBT芯片,其中,IGBT芯片制造方法包括:在N型掺杂硅片衬底的表面淀积多晶硅层;在所述多晶硅层的图形中通过多次离子注入和高温推结的方式形成P阱层。本发明通过多次离子注入和高温推结的方式形成P阱层,这样在N区下方的P阱拥有更高的浓度,更加有利于改善抗闩锁能力,从而解决了现有技术中IGBT芯片在过电流关断过程中,容易发生动态闩锁现象的问题,提高了IGBT在过电流关断过程中的抗闩锁能力,同时背面采用局部掺杂或者氧化层隔离的方式,降低有源区边缘的电流集中,提高IGBT的过流关断能力。
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