发明授权
- 专利标题: IGBT芯片制造方法及IGBT芯片
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申请号: CN201710606477.8申请日: 2017-07-24
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公开(公告)号: CN107578998B公开(公告)日: 2021-02-09
- 发明人: 王耀华 , 温家良 , 金锐 , 赵哿 , 刘江 , 高明超 , 崔磊 , 李立 , 朱涛
- 申请人: 全球能源互联网研究院有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 马永芬
- 主分类号: H01L21/331
- IPC分类号: H01L21/331 ; H01L29/06 ; H01L29/739
摘要:
本发明提供了一种IGBT芯片制造方法及IGBT芯片,其中,IGBT芯片制造方法包括:在N型掺杂硅片衬底的表面淀积多晶硅层;在所述多晶硅层的图形中通过多次离子注入和高温推结的方式形成P阱层。本发明通过多次离子注入和高温推结的方式形成P阱层,这样在N区下方的P阱拥有更高的浓度,更加有利于改善抗闩锁能力,从而解决了现有技术中IGBT芯片在过电流关断过程中,容易发生动态闩锁现象的问题,提高了IGBT在过电流关断过程中的抗闩锁能力,同时背面采用局部掺杂或者氧化层隔离的方式,降低有源区边缘的电流集中,提高IGBT的过流关断能力。
公开/授权文献
- CN107578998A IGBT芯片制造方法及IGBT芯片 公开/授权日:2018-01-12
IPC分类: