石墨悬浮式冷坩埚制取高纯氧化铝多晶体的工艺方法
摘要:
本发明涉及一种石墨悬浮式冷坩埚制取高纯氧化铝多晶体的工艺方法,采用首先向冷坩埚内装填高纯氧化铝原料粉体后压实,使压实后的原料粉体高度处于高频感应线圈上沿和下沿高度之间;然后再将纯度大于99.99%的高纯石墨片放在铺好的底料上,再在石墨片上均匀盖一层1cm高不压实的原料粉体;启动坩埚水冷系统,开启感应线圈电源,进行感应加热;石墨片被快速升温加热到3000℃以上,快速熔化附近的原料粉体,最终全部熔化形成氧化铝熔池,使得石墨片漂浮在熔池上面并接触空气;冷坩埚开始下降,继续向冷坩埚中加入原料粉,使石墨片始终漂浮在熔池最上面和空气接触不断被氧化成二氧化碳气体,直至最终消失,最后完成高纯氧化铝多晶体的生产。
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