电容式接触型位移测量传感器及传感系统
摘要:
本发明公开了一种电容式接触型位移测量传感器及传感系统,该传感器包括:固定部件,包括固定绝缘基底及位于固定绝缘基底上的电容极片组,电容极片组包括各导电极片及覆盖在各导电极片上的固定侧薄膜;运动部件,包括运动绝缘基底和位于运动绝缘基底上的接地极片组,接地极片组包括各导电极片及覆盖在各导电极片上的运动侧薄膜;固定部件与运动部件在垂直于X方向的Z方向上相对布置,且运动部件与固定部件沿X方向接触式滑动配合连接,以使运动侧薄膜与固定侧薄膜在Z方向上的保持零间隙;电容极片组与接地极片组被设置为在运动过程中形成可变电容器。本发明传感器无需针对间隙变化进行补偿设计,有利于简化结构及提升传感器性能。
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