发明授权
- 专利标题: 电容式接触型位移测量传感器及传感系统
-
申请号: CN201610390990.3申请日: 2016-06-03
-
公开(公告)号: CN107462142B公开(公告)日: 2019-09-17
- 发明人: 林立 , 张冬冬 , 郑泉水
- 申请人: 清华大学 , 青岛艾科瑞尔精密仪器科技有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区清华大学
- 专利权人: 清华大学,青岛艾科瑞尔精密仪器科技有限公司
- 当前专利权人: 清华大学,青岛艾科瑞尔精密仪器科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华大学
- 代理机构: 北京博雅睿泉专利代理事务所
- 代理商 马佑平; 马铁良
- 主分类号: G01B7/02
- IPC分类号: G01B7/02
摘要:
本发明公开了一种电容式接触型位移测量传感器及传感系统,该传感器包括:固定部件,包括固定绝缘基底及位于固定绝缘基底上的电容极片组,电容极片组包括各导电极片及覆盖在各导电极片上的固定侧薄膜;运动部件,包括运动绝缘基底和位于运动绝缘基底上的接地极片组,接地极片组包括各导电极片及覆盖在各导电极片上的运动侧薄膜;固定部件与运动部件在垂直于X方向的Z方向上相对布置,且运动部件与固定部件沿X方向接触式滑动配合连接,以使运动侧薄膜与固定侧薄膜在Z方向上的保持零间隙;电容极片组与接地极片组被设置为在运动过程中形成可变电容器。本发明传感器无需针对间隙变化进行补偿设计,有利于简化结构及提升传感器性能。
公开/授权文献
- CN107462142A 电容式接触型位移测量传感器及传感系统 公开/授权日:2017-12-12