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数据存储器件及其制造方法
Abstract:
一种数据存储器件以及用于制造该数据存储器件的方法提供一种具有优异可靠性且易于制造的数据存储器件。该数据存储器件包括:包括单元区和外围电路区的衬底;在外围电路区上的第一导电线;在衬底与第一导电线之间的外围接触插塞,外围接触插塞与第一导电线接触;在单元区上的第二导电线;在衬底与第二导电线之间的多个数据存储结构;以及在衬底与数据存储结构的每个之间以及在衬底与外围接触插塞之间的布线结构。第一导电线包括自衬底具有比第二导电线的底表面的位置更低的位置的底表面。
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