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电镀装置及方法
Abstract:
提供一种用于镀敷衬底的装置和方法。装置包括:用于容纳电镀溶液的电镀槽;用于在电镀溶液中夹持衬底的衬底夹具;耦合至衬底夹具并且配置为使衬底夹具旋转的旋转驱动器;耦合至旋转驱动器的配电装配件;设置在电镀槽内的阳极;电耦合在阳极和配电装配件之间的供电单元,从而形成电回路;以及用于为电回路提供预定的阻抗值的电流调节构件,其中,由供电单元提供的电压使得电流流经电回路,并且选择预定的阻抗,从而使得在与不存在电流调节构件的情况下测得的结果相比,电流的变化保持在更小的范围内。
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