流体排出装置、流体排出方法及流体涂覆装置
Abstract:
随着流体排出装置的流体排出量变为微小,有时产生流体即使被排出也不被填充到掩模中的不良情况。为了将流体填充在工件中,需要将排出部分的工件的空气利用流体置换,提前将工件中的空气排除,从而排出的流体被填充到工件中。使用下述流体排出装置,所述流体排出装置在排出头的一端,形成有用于吸入工件上的掩模中的空气的吸入口和用于排出流体的排出喷嘴。
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