一种金属掩膜制备方法
摘要:
本发明涉及掩膜板制造领域,尤其涉及一种金属掩膜制备方法,通过激光加工图形方式取代传统的黄光与蚀刻工艺,即以皮秒级激光加工开口区,通过单面加工方式来避免传统双面加工生产方式所产生的累计误差,进而使得加工精度远远高于传统生产流程中采用曝光/显影/蚀刻的累计精度;并可通过调整激光入射角来满足金属掩膜所需的蒸镀角度需求;同时还避免了高额设备投资与厂区建设费用。
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