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曝光机
Abstract:
本发明提供一种曝光机,曝光腔室外设有包围光源灯室和照明系镜组的透明防护罩,为所述光源灯室和照明系镜组提供了一隔离外部环境即洁净室内空气的空间,且所述透明防护罩与第一气体输送管道连接并相通,所述第一气体输送管道向所述透明防护罩内输送气体从而对所述光源灯室和照明系镜组进行冷却处理,能够避免现有技术直接抽取洁净室内空气对光源灯室和照明系镜组进行冷却而造成曝光腔室外镜片雾化的问题,使所述光源灯室和照明系镜组的镜片可以得到保护,进而可节省售价非常昂贵的高压汞灯或镜片,有效降低了生产成本。
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