- 专利标题: 制备高比表面积的光刻胶-石墨烯材料的复合体系的方法
- 专利标题(英): Method for preparing composite system with high specific surface area of photoresist and graphene material
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申请号: CN201710576149.8申请日: 2017-07-14
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公开(公告)号: CN107367905A公开(公告)日: 2017-11-21
- 发明人: 邹应全 , 薛兵
- 申请人: 北京师范大学
- 申请人地址: 北京市海淀区新街口外大街19号
- 专利权人: 北京师范大学
- 当前专利权人: 北京师范大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区新街口外大街19号
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 李小梅; 刘金辉
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; G03F7/40 ; G03F7/42 ; C01B32/182
摘要:
本发明涉及一种制备光刻胶-石墨烯材料的复合体系的方法,其包括:1)提供包含石墨烯材料和光刻胶的混合物;2)采用掩模图形版对由步骤1)得到的混合物进行曝光;和3)用显影液处理由步骤2)得到的曝光的材料以除去未交联部分,得到光刻胶-石墨烯材料的复合体系,其中所述石墨烯材料选自石墨烯、氧化石墨烯及其混合物。本发明方法工艺简单且所得复合体系具有高比表面积。所得复合体系适用于制备催化剂载体、表面吸附材料和微传感器。
公开/授权文献
- CN107367905B 制备高比表面积的光刻胶-石墨烯材料的复合体系的方法 公开/授权日:2019-04-12
IPC分类: