一种激光切划装置
摘要:
一种激光切划装置,该装置包括一激光器,用于发出激光光束;一衍射光学镜片和一聚焦镜,所述激光光束通过所述衍射光学镜片和聚焦镜后,在工件上、下表面和中间分别形成聚焦点,所述聚焦点的形状为椭圆形,沿工件的厚度方向延伸,所述的工件的中间形成的聚焦点椭圆延伸长度大于所述工件上、下表面形成的聚焦点的椭圆形延伸长度。
公开/授权文献
0/0