发明授权
- 专利标题: 一种清洗装置
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申请号: CN201710643774.X申请日: 2017-07-31
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公开(公告)号: CN107262437B公开(公告)日: 2019-12-06
- 发明人: 董立文 , 谷丰
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 滕一斌
- 主分类号: B08B3/02
- IPC分类号: B08B3/02 ; B08B13/00 ; B08B11/02 ; B08B11/04 ; G03F7/40
摘要:
本发明公开了一种清洗装置,属于半导体工艺设备领域。该工件支撑台包括支撑平台、角度调节单元和支座,支撑平台和角度调节单元均设置在支座上,支撑平台具有用于承载待清洗工件的支撑平面,角度调节单元用于调节支撑平面的倾斜角度,通过设置角度调节单元可以调节支撑平面的倾斜角度,在清洗的过程中将工件放置在支撑平面上,由于支撑平面倾斜,因此可以使残留的光刻胶、显影液和污渍更容易被冲走,进一步提高清洗效果。
公开/授权文献
- CN107262437A 一种清洗装置 公开/授权日:2017-10-20
IPC分类: