一种清洗装置
摘要:
本发明公开了一种清洗装置,属于半导体工艺设备领域。该工件支撑台包括支撑平台、角度调节单元和支座,支撑平台和角度调节单元均设置在支座上,支撑平台具有用于承载待清洗工件的支撑平面,角度调节单元用于调节支撑平面的倾斜角度,通过设置角度调节单元可以调节支撑平面的倾斜角度,在清洗的过程中将工件放置在支撑平面上,由于支撑平面倾斜,因此可以使残留的光刻胶、显影液和污渍更容易被冲走,进一步提高清洗效果。
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