一种用于半导体装置制作工具的缓冲系统包含：一或多个可伸缩架子；一或多个滑动组合件，其可定位于所述半导体装置制作工具的一或多个装载端口上方；及一或多个举升组合件。所述一或多个可伸缩架子经配置以支撑可密封容器。所述一或多个滑动组合件经配置以接收所述可密封容器且进一步经配置以将所述可密封容器输送到一或多个可伸缩架子下方的一或多个位置。所述一或多个举升组合件经配置以使可密封容器在包含一或多个可伸缩架子、所述一或多个滑动组合件及所述一或多个装载端口的群组中的任何两者之间输送。