多层电容器的制造方法
摘要:
本发明提出了一种多层电容器的制造方法,通过形成多层电容器的第一电极、第二电极和介电层,形成多个电容器层,减小了电容器的体积,再形成介质层以包裹住多层电容器,采用刻蚀的方法刻蚀层叠体一侧的第一电极,使层叠体这一侧的第一电极较第二电极短,采用刻蚀的方法刻蚀层叠体另一侧的第二电极,使层叠体这一侧的第二极较第一电极短,避免了刻蚀大量的沟槽和使用更多的掩模层,精简了工艺、提升了多层电容器的器件的性能。
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