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磁传感器及其制造方法
Abstract:
提供磁传感器及其制造方法。磁传感器具备:在表面具备霍尔元件的半导体衬底;设在半导体衬底的背面上的导电层;以及设在导电层上的磁会聚板。磁会聚板通过在半导体衬底的背面上形成基底导电层,并在基底导电层上形成具有磁会聚板形成用的开口的抗蚀剂,利用电解镀在抗蚀剂的开口内形成磁会聚板,再除去抗蚀剂,以磁会聚板为掩模蚀刻除去基底导电层的一部分而形成在半导体衬底的背面上。
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