发明授权
摘要:
本发明涉及离子渗氮装置,尤其涉及一种实现工件氮化均温的离子渗氮装置,其包括炉体、炉底盘、多功能活性屏、上传动系统、下传动系统、进气系统、抽气系统,其特征在于,炉体为圆筒形,炉底盘为圆盘形,炉体放置于炉底盘正上方形成炉腔;多功能活性屏垂直悬挂于炉腔内,上传动系统固定于炉体顶部,上传动系统驱动多功能活性屏顺时针转动;下传动系统固定于炉底盘,下传动系统带动工件逆时针转动;进气系统由上传动系统的进气部分和多功能活性屏的进气部分组成;抽气系统由主抽气管和分抽气管组成。本发明设计的离子渗氮装置有效提升进气与抽气的均匀性、提高气体的分解率、稳定阴阳极之间的距离,从而实现工件氮化温度的均一性,保证渗氮层厚度及性能的一致性。本发明涉及的装置也适合材料表面的物理气相沉积及化学气相沉积。
公开/授权文献
- CN107177816A 实现工件氮化均温的离子渗氮装置 公开/授权日:2017-09-19
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