发明公开
- 专利标题: 空穴型半导体电控量子点器件,其制备及使用方法
- 专利标题(英): Cavity type semiconductor electric control quantum dot device, and preparation and application method of the same
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申请号: CN201710498737.4申请日: 2017-06-26
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公开(公告)号: CN107170813A公开(公告)日: 2017-09-15
- 发明人: 李海欧 , 袁龙 , 王柯 , 张鑫 , 郭光灿 , 郭国平
- 申请人: 中国科学技术大学
- 申请人地址: 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 专利权人: 中国科学技术大学
- 当前专利权人: 中国科学技术大学
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 程纾孟
- 主分类号: H01L29/66
- IPC分类号: H01L29/66 ; H01L21/18 ; B82Y10/00
摘要:
本发明公开了空穴型半导体电控量子点器件、其制备和使用方法。其包含非掺杂GaAs衬底(101)、非掺杂AlGaAs层(102)和表面非掺杂GaAs盖帽层(103);欧姆接触源极(201)和漏极(204),依次穿过表面非掺杂GaAs盖帽层(103)和非掺杂AlGaAs层(102),进入非掺杂GaAs衬底(101)至少5nm;至少两个量子点小电极(402),位于欧姆接触源极(201)和漏极(204)之间,处于表面非掺杂GaAs盖帽层上(103);绝缘层(500),覆盖表面非掺杂GaAs盖帽层(103)、量子点小电极(402)、以及欧姆接触源极(201)和漏极(204)的至少一部分;和栅极纳米条带(602),设置在绝缘层(500)上,并且水平投影与欧姆接触源极(201)、漏极(204)以及量子点小电极(402)均有交叠。还公开了一种量子点装置。
公开/授权文献
- CN107170813B 空穴型半导体电控量子点器件,其制备及使用方法 公开/授权日:2023-08-29
IPC分类: