发明授权
- 专利标题: 照明装置的倒装结构及其制作方法
-
申请号: CN201710318571.3申请日: 2017-05-08
-
公开(公告)号: CN107134470B公开(公告)日: 2019-03-05
- 发明人: 不公告发明人
- 申请人: 深圳市尚来特科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道海天一路软件产业基地4A702
- 专利权人: 深圳市尚来特科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市尚来特科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道海天一路软件产业基地4A702
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 石佩
- 主分类号: H01L27/15
- IPC分类号: H01L27/15 ; H01L33/38
摘要:
本发明涉及一种照明装置的倒装结构及其制作方法。照明装置的倒装结构包括层叠设置的衬底、缓冲层、N型氮化物半导体层、有源层及P型氮化物半导体层,透明导电层设于P型氮化物半导体层上,利用黄光蚀刻制程蚀刻透明导电层至有源层,暴露N型氮化物半导体层,得到凸形台面。P型接触金属设于透明导电层上,N型接触金属设于暴露出的N型氮化物半导体层上。沉积并蚀刻第一绝缘层以露出P/N型接触金属的一部分。倒装P型电极设于露出的P型接触金属上,倒装N型电极设于露出的N型接触金属上。再沉积并蚀刻第二绝缘层以露出倒装P/N型电极的一部分。在制作凸形台面时,利用圆形孔洞与长条形孔洞的结合,降低蚀刻精度,提高良率。
公开/授权文献
- CN107134470A 照明装置的倒装结构及其制作方法 公开/授权日:2017-09-05
IPC分类: