基于可调制LCD掩模的多码道光栅尺的制造方法
摘要:
本发明公开了一种基于可调制LCD掩模的多码道光栅尺的制造方法,包括以下步骤:掩模板的预处理:在长方形LCD掩模板的正面靠近四个角的地方形成带有十字图样和光栅条纹图样的绝对对正标记;曝光前的准备:对整个光栅基材进行清洗、溅射、前烘和涂胶的光刻前的准备工作;掩模图形的调制;单步曝光;多步连续曝光;光栅基材的图形化。本发明工艺简单,成本低廉,可以制造较长的多码道光栅尺。
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