- 专利标题: 一种基于MEMS原子芯片的物理封装件及其封装方法
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申请号: CN201710325754.8申请日: 2017-05-10
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公开(公告)号: CN107128871B公开(公告)日: 2019-04-05
- 发明人: 宫占江 , 王辉 , 张鹏 , 孙立凯 , 徐兴烨 , 吴亚林 , 王劲松
- 申请人: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区一曼街29号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第四十九研究所,北京电子工程总体研究所
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区一曼街29号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 孟宪会
- 主分类号: B81B7/00
- IPC分类号: B81B7/00 ; B81C1/00 ; B81B7/02
摘要:
一种基于MEMS原子芯片的物理封装件及其封装方法,它涉及一种物理封装件及其封装方法。本发明为了解决现有的微型碱金属原子气室在传感器系统应用过程中存在加热功耗过大及磁干扰的问题。封装件:陶瓷外壳分别与上、下透光窗密封连接,上支撑膜和下支撑膜粘接在微结构原子芯片的上、下表面,微结构原子芯片与内连接支架连接,上支撑膜与下支撑膜粘接在封装腔体内部的陶瓷外壳的基座上。方法:将下透光窗和密封陶瓷外壳密封,将上支撑膜和下支撑膜粘在微结构原子芯片上,上支撑膜与下支撑膜固定连接,微结构原子芯片与内连接支架固定连接,上支撑膜和下支撑膜的加热与测温器引线均与内电极相连,内电极与外电极连接。本发明用于微机电系统领域。
公开/授权文献
- CN107128871A 一种基于MEMS原子芯片的物理封装件及其封装方法 公开/授权日:2017-09-05