背面抛光PERC电池的制备方法
摘要:
本发明公开了一种背面抛光PERC电池的制备方法,包括以下步骤:(1)在硅片背面沉积单面保护膜;(2)将镀有单面保护膜的硅片进行制绒,在制绒后的酸洗过程中去除硅片上的单面保护膜;(3)将单面制绒的硅片进行扩散;(4)进行常规二次清洗;(5)背面沉积氧化铝/氮化硅叠层钝化膜,然后激光开槽,经丝网印刷和烧结,得到背面抛光PERC电池。本发明的方法量产门槛低、运营成本低,可实现微纳尺度上的平整性,从而大幅提升电池光电转换效率。
0/0