一种用于激光烧蚀制备纳米结构实验的实验装置
摘要:
本发明公开一种用于激光烧蚀制备纳米结构实验的实验装置,可以通过电脑控制一次性进行整个试验过程。由激光器、烧蚀光路、烧蚀腔、真空干燥腔、TEM观察腔、靶材控制系统、TEM样品运输系统构成,可以自动控制实验进行,效率高,控制精准,免于样品被污染和氧化,且可以原位进行试验。
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