发明授权
- 专利标题: 一种用于激光烧蚀制备纳米结构实验的实验装置
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申请号: CN201611237415.6申请日: 2016-12-28
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公开(公告)号: CN107081530B公开(公告)日: 2019-11-26
- 发明人: 徐甄真 , 张龙 , 李增辉 , 李耀鹏
- 申请人: 净化控股集团股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省台州市玉环市科技工业园区楚门段
- 专利权人: 净化控股集团股份有限公司
- 当前专利权人: 净化控股集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省台州市玉环市科技工业园区楚门段
- 代理机构: 绍兴市寅越专利代理事务所
- 代理商 焦亚如
- 主分类号: B23K26/362
- IPC分类号: B23K26/362 ; B23K26/40
摘要:
本发明公开一种用于激光烧蚀制备纳米结构实验的实验装置,可以通过电脑控制一次性进行整个试验过程。由激光器、烧蚀光路、烧蚀腔、真空干燥腔、TEM观察腔、靶材控制系统、TEM样品运输系统构成,可以自动控制实验进行,效率高,控制精准,免于样品被污染和氧化,且可以原位进行试验。
公开/授权文献
- CN107081530A 一种用于激光烧蚀制备纳米结构实验的实验装置 公开/授权日:2017-08-22
IPC分类: