发明授权
- 专利标题: 一种真空干燥装置
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申请号: CN201710433970.4申请日: 2017-06-09
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公开(公告)号: CN107062828B公开(公告)日: 2020-04-10
- 发明人: 向琛 , 邸阳 , 渠谦 , 徐钟国
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静; 刘伟
- 主分类号: F26B9/06
- IPC分类号: F26B9/06 ; F26B25/00
摘要:
本发明提供了一种真空干燥装置,包括:真空腔室;及,设置在所述真空腔室内,用于承载待处理物的承载台;所述承载台包括:承载平台;设置在所述承载平台上的多个支撑部件;以及,能够移动所述支撑部件的移动机构。本发明提供的真空干燥装置,其承载台上设置的支撑部件可移动,从而可以改变与基板的接触位置,解决现有技术中显示基板与支撑部柱接触点形成不良的问题。
公开/授权文献
- CN107062828A 一种真空干燥装置 公开/授权日:2017-08-18
IPC分类: