发明授权
- 专利标题: 形成内存设备结构的方法及内存设备结构
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申请号: CN201610920471.3申请日: 2016-10-21
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公开(公告)号: CN107039584B公开(公告)日: 2019-06-14
- 发明人: 瑞夫·理查 , 蒋育德 , 拉恩·亚恩
- 申请人: 格罗方德半导体公司
- 申请人地址: 英属开曼群岛大开曼岛
- 专利权人: 格罗方德半导体公司
- 当前专利权人: 马维尔国际有限公司
- 当前专利权人地址: 英属开曼群岛大开曼岛
- 代理机构: 北京戈程知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟; 王锦阳
- 优先权: 14/918,736 2015.10.21 US
- 主分类号: H01L43/12
- IPC分类号: H01L43/12 ; H01L43/08 ; H01L27/22
摘要:
本发明提供一种形成内存设备结构的方法及内存设备结构,该内存设备结构包括:一晶圆基板;一磁性隧道结(MTJ),其由一第一磁性层、一第二磁性层及一非磁性薄层形成,该第一磁性层、该第二磁性层及该非磁性薄层沿着垂直于该晶圆基板的一上表面的一第一方向堆栈,该MTJ形成于该上表面上面,该非磁性层插在该第一磁性层与该第二磁性层之间;电性耦合至该第一磁性层的一第一接触;以及电性耦合至该第二磁性层的一第二接触。
公开/授权文献
- CN107039584A 形成内存设备结构的方法及内存设备结构 公开/授权日:2017-08-11
IPC分类: