一种加强型结构的MEMS图像传感器像元
摘要:
本发明提供一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,包括微桥、桥墩和衬底,所述微桥包括桥面和桥臂,所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上,并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路,其中,所述桥臂的横截面为T型加强结构。本发明的像元桥臂采用T型加强结构,桥臂的结构改进能够显著提高像元的抗冲击能力,适用于需要高冲击耐受力的专业领域。
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