发明公开
- 专利标题: 一种加强型结构的MEMS图像传感器像元
- 专利标题(英): MEMS image sensor image pixel with enhanced structure
-
申请号: CN201710327901.5申请日: 2017-05-11
-
公开(公告)号: CN106989829A公开(公告)日: 2017-07-28
- 发明人: 赵照
- 申请人: 合肥芯福传感器技术有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区创新产业园二期F1栋1405室
- 专利权人: 合肥芯福传感器技术有限公司
- 当前专利权人: 合肥芯福传感器技术有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区创新产业园二期F1栋1405室
- 主分类号: G01J5/10
- IPC分类号: G01J5/10 ; G01J5/02
摘要:
本发明提供一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,包括微桥、桥墩和衬底,所述微桥包括桥面和桥臂,所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上,并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路,其中,所述桥臂的横截面为T型加强结构。本发明的像元桥臂采用T型加强结构,桥臂的结构改进能够显著提高像元的抗冲击能力,适用于需要高冲击耐受力的专业领域。