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基板的定位和传送
Abstract:
本发明涉及基板的定位和传送。一种用于在喷墨系统中支撑基底的基底输送机包括输送机主体,其包括用于支撑基底的输送机支撑面,和用于将基底输送到输送机支撑面并从输送机支撑面输送回基底的基底传送单元。该基底传送单元包括用于夹持基底的至少一个夹子。根据本发明的基底输送机的改进在于基底传送引导装置被固定到输送机主体上,以此使得在基底输送机主体移动的过程中,基底传送引导装置与该输送机主体一起移动。有利的,能够高精度地执行将基底输送并且随后定位到输送机支撑面上。由于传送引导装置被固定到输送机主体上,所以可以将基底更精确地放置在输送机支撑面上。
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