- 专利标题： 具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法
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申请号： CN201710209730.6申请日： 2017-03-31
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公开(公告)号： CN106971933B公开(公告)日： 2018-10-19
- 发明人: 蔡小龙
- 申请人： 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人： 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人： 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构： 深圳市威世博知识产权代理事务所
- 代理商 钟子敏
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; B08B3/02
摘要：
本发明提供一种具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法。该清洗组件包括第一喷淋机构和第二喷淋机构，第一喷淋机构用于喷淋蚀刻液，第二喷淋机构设置于第一喷淋机构的上方，第二喷淋机构用于在第一喷淋机构停止喷淋蚀刻液时喷淋清洗液，以对第一喷淋机构进行清洗。基于此，本发明能够对蚀刻腔室内进行随时清洗，减少蚀刻液挥发产生的结晶体，降低由结晶体导致的危害。
公开/授权文献
- CN106971933A 具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法 公开/授权日：2017-07-21
