- 专利标题: x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件
- 专利标题(英): X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target, and rotary vacuum seal
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申请号: CN201710058108.X申请日: 2014-03-12
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公开(公告)号: CN106935462A公开(公告)日: 2017-07-07
- 发明人: R·哈德兰德
- 申请人: 尼康计量公众有限公司
- 申请人地址: 比利时鲁汶
- 专利权人: 尼康计量公众有限公司
- 当前专利权人: 尼康计量公众有限公司
- 当前专利权人地址: 比利时鲁汶
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈松涛; 王英
- 优先权: 1304870.7 20130315 GB 61/787,930 20130315 US
- 主分类号: H01J35/02
- IPC分类号: H01J35/02 ; H01J35/04 ; H01J35/10 ; H02M1/32 ; H02M7/10 ; H05G1/12
摘要:
本发明涉及x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件。具体地,一种用于x射线源的旋转靶组件,所述组件包括:x射线发射靶;真空壳体;轴,安装所述靶并且穿过所述体的壁;轴承,可旋转地支撑所述轴;以及轴承壳体,支撑所述轴承,并且被安装在真空壳体的所述壁上,其中,通过扭矩限制器将轴承壳体安装在真空壳体的所述壁上,以使得当轴承壳体与真空壳体之间的扭矩超过预定的扭矩时,轴承壳体相对于真空壳体旋转,其中:所述扭矩限制器被布置为在真空壳体与轴承壳体之间施加摩擦力并且被布置为容许真空壳体和轴承壳体在所述预定的扭矩下相对于彼此进行滑动;轴承壳体和真空壳体中的一个具有法兰,而轴承壳体和真空壳体中的另一个具有夹钳组件;所述夹钳组件被布置为将所述摩擦力施加于所述法兰;并且所述夹钳组件包括被布置为接触法兰的一侧的能量吸收板、以及被布置为抵靠着能量吸收板推动法兰的夹钳。
公开/授权文献
- CN106935462B x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件 公开/授权日:2018-11-02