发明公开
- 专利标题: 一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备及其制备方法
- 专利标题(英): Continuous production device for coating micro-nano powder and preparation method for continuous production device
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申请号: CN201511020346.9申请日: 2015-12-30
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公开(公告)号: CN106929809A公开(公告)日: 2017-07-07
- 发明人: 唐晓峰 , 逯琪 , 董建廷
- 申请人: 上海朗亿新材料科技有限公司
- 申请人地址: 上海市松江区永航路188弄1号
- 专利权人: 上海朗亿新材料科技有限公司
- 当前专利权人: 上海朗亿新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市松江区永航路188弄1号
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/56
摘要:
本发明涉及一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备及其制备方法,该设备包括储料仓(1)、连续下料装置(2)、传输系统(3)、磁控溅射装置(4)、真空腔体(5)、收料仓(6)、抽气系统(7)和进气系统(8)。通过该设备对微纳米粉体镀膜能够实现工艺多样性变化及产品镀层稳定性。
IPC分类: