一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备及其制备方法,该设备包括储料仓(1)、连续下料装置(2)、传输系统(3)、磁控溅射装置(4)、真空腔体(5)、收料仓(6)、抽气系统(7)和进气系统(8)。通过该设备对微纳米粉体镀膜能够实现工艺多样性变化及产品镀层稳定性。
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