一种SF6气体传感器
摘要:
本发明提供了一种SF6气体传感器,传感器包括直流电源和电极,电极由对应设置的平板电极和硅尖阵列电极组成,其间设有绝缘膜。该气体传感器,采用负电晕放电原理和针‑板放电结构,采用硅尖阵列电极替代传统的单放电针电极,降低单个电极的电晕放电电流,增大了放电区域,提高检测的线性范围和灵敏度,减小每个尖端电极的放电电流,延缓电极老化过程,延长传感器寿命。
公开/授权文献
0/0