一种全溶液化制备柔性薄膜晶体管的制备方法
摘要:
本发明属于半导体与电喷印技术领域,并公开了一种全溶液化制备柔性薄膜晶体管的制备方法,包括以下步骤:(1)制备半导体层;(2)采用电纺丝技术,由导电溶液Ⅰ形成的内层作为晶体管的栅极,由有机聚合物溶液Ⅱ形成的外层作为晶体管的介电层;(3)电喷印制备源极和漏极:待同轴双层定向纤维固化后,使用导电溶液Ⅲ对着固化后的同轴双层定向纤维进行喷印,导电溶液Ⅲ落在同轴双层定向纤维上后会滑向同轴双层定向纤维的两侧,并且固化形成导电膜Ⅰ和导电膜Ⅱ,所述导电膜Ⅰ和导电膜Ⅱ分别作为晶体管的源极和漏极。本发明制备的晶体管具有结构简单、定向性好和性能高等优点,其工艺具有制造成本低、工艺流程少、操作简单、对环境要求低等特点。
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