发明授权
- 专利标题: 一种全溶液化制备柔性薄膜晶体管的制备方法
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申请号: CN201611177194.8申请日: 2016-12-19
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公开(公告)号: CN106816531B公开(公告)日: 2019-01-29
- 发明人: 黄永安 , 丁亚江 , 王小梅 , 刘建鹏 , 尹周平
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 武汉国创科光电装备有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 周磊
- 主分类号: H01L51/05
- IPC分类号: H01L51/05 ; H01L51/40
摘要:
本发明属于半导体与电喷印技术领域,并公开了一种全溶液化制备柔性薄膜晶体管的制备方法,包括以下步骤:(1)制备半导体层;(2)采用电纺丝技术,由导电溶液Ⅰ形成的内层作为晶体管的栅极,由有机聚合物溶液Ⅱ形成的外层作为晶体管的介电层;(3)电喷印制备源极和漏极:待同轴双层定向纤维固化后,使用导电溶液Ⅲ对着固化后的同轴双层定向纤维进行喷印,导电溶液Ⅲ落在同轴双层定向纤维上后会滑向同轴双层定向纤维的两侧,并且固化形成导电膜Ⅰ和导电膜Ⅱ,所述导电膜Ⅰ和导电膜Ⅱ分别作为晶体管的源极和漏极。本发明制备的晶体管具有结构简单、定向性好和性能高等优点,其工艺具有制造成本低、工艺流程少、操作简单、对环境要求低等特点。
公开/授权文献
- CN106816531A 一种全溶液化制备柔性薄膜晶体管的制备方法 公开/授权日:2017-06-09
IPC分类: