用以改进配件寿命的用于高压缩应力薄膜沉积的设备
摘要:
在此公开一种用于延长处理配件部件的处理寿命的方法和设备。在一些实施方式中,处理配件包括:第一环,所述第一环具有定义内径的内壁、定义外径的外壁、在内壁和外壁之间的上表面以及在内壁和外壁之间的相对的下表面,其中靠近内壁的上表面的第一部分是凹形的,且其中上表面的第二部分水平延伸远离第一部分;和第二环,所述第二环具有上表面和相对的下表面,其中下表面的第一部分经配置以安置在第一环的第二部分上,其中下表面的第二部分是凸形的,且延伸至,但不接触,第一环的上表面的凹形第一部分。
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