- 专利标题: 用以改进配件寿命的用于高压缩应力薄膜沉积的设备
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申请号: CN201580053146.5申请日: 2015-09-29
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公开(公告)号: CN106796864B公开(公告)日: 2019-09-13
- 发明人: 魏群奇 , 希兰库玛·萨万戴亚 , 阿南塔克里希纳·朱普迪 , 曹志涛 , 欧岳生
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权: 62/063,926 2014.10.14 US
- 国际申请: PCT/US2015/052803 2015.09.29
- 国际公布: WO2016/060837 EN 2016.04.21
- 进入国家日期: 2017-03-30
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32 ; C23C14/34 ; C23C14/35
摘要:
在此公开一种用于延长处理配件部件的处理寿命的方法和设备。在一些实施方式中,处理配件包括:第一环,所述第一环具有定义内径的内壁、定义外径的外壁、在内壁和外壁之间的上表面以及在内壁和外壁之间的相对的下表面,其中靠近内壁的上表面的第一部分是凹形的,且其中上表面的第二部分水平延伸远离第一部分;和第二环,所述第二环具有上表面和相对的下表面,其中下表面的第一部分经配置以安置在第一环的第二部分上,其中下表面的第二部分是凸形的,且延伸至,但不接触,第一环的上表面的凹形第一部分。
公开/授权文献
- CN106796864A 用以改进配件寿命的用于高压缩应力薄膜沉积的设备 公开/授权日:2017-05-31