发明授权
- 专利标题: 干湿一体机及生产线
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申请号: CN201710204558.5申请日: 2017-03-30
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公开(公告)号: CN106784169B公开(公告)日: 2019-03-19
- 发明人: 上官泉元 , 谭兴波 , 杨虎
- 申请人: 常州比太科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市武进区高新技术产业开发区凤翔路7号
- 专利权人: 常州比太科技有限公司
- 当前专利权人: 常州比太科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市武进区高新技术产业开发区凤翔路7号
- 代理机构: 北京超凡志成知识产权代理事务所
- 代理商 史明罡
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明提供了一种干湿一体机,包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构;所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接,所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接,所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间;本发明的整套设备为实现硅片的“干法制绒”工艺,集成了硅片自动插片、前清洗、硅片自动化转换到干法制绒设备上、干法制绒、硅片自动化叠片等工艺和技术。该整套设备不需要人工干预,全部使用自动化设备。在此基础上,本发明还提供了一种采用该干湿一体机的生产线。
公开/授权文献
- CN106784169A 干湿一体机及生产线 公开/授权日:2017-05-31
IPC分类: