发明授权
- 专利标题： 铝锰合金靶材的制造方法
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申请号： CN201611192961.2申请日： 2016-12-21
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公开(公告)号： CN106756830B公开(公告)日： 2019-03-15
- 发明人: 鲁飞 , 刘树峰 , 张志宏 , 孙良成 , 刘小鱼 , 李慧 , 郑天仓 , 王峰 , 李静雅 , 邢正茂
- 申请人： 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 申请人地址： 内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号
- 专利权人： 包头稀土研究院,瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 当前专利权人： 包头稀土研究院,瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 当前专利权人地址： 内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号
- 代理机构： 北京康盛知识产权代理有限公司
- 代理商 张良
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; C22C21/00 ; C22C1/04
摘要：
本发明公开了一种铝锰合金靶材的制造方法，包括：制取板坯，板坯化学组分的质量比为，铝：75～95％，锰：5～25％；将成型板坯装入模具中，放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材制品；铝锰合金靶材制品经机加工后得到靶材产品。本发明获得的铝锰合金靶材相对密度在99％以上，内部无孔隙，外部无裂纹，晶粒尺寸细小均一，成分分布均匀。
公开/授权文献
- CN106756830A 铝锰合金靶材的制造方法 公开/授权日：2017-05-31
IPC分类:
