一种Ti基LTCC微波介电陶瓷材料及其制备方法
摘要:
本发明属于电子陶瓷材料及其制造领域,具体涉及一种Ti基LTCC微波介电陶瓷材料及其制备方法。本发明首先将(Mg0.95Co0.05)2TiO4与Li2TiO3进行复合,然后再借助LMZBS玻璃掺杂助熔来实现整个材料体系的900~950℃低温烧结。最终实现在900℃低温烧结下最佳性能可达到介电常数:εr=16.6,Q×f=125800GHz,τf=1.4ppm/℃。本发明兼具超低损耗、近零谐振频率温度系数以及低温烧结的高性能,其介电常数εr为16.6~17.1,Q×f值为88400~125800GHz,谐振频率温度系数τf为1.3~5.1ppm/℃。可广泛应用于LTCC微波基板、叠层微波器件和模块中。
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