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石英晶片腐蚀装置
Abstract:
本发明申请涉及晶片加工领域,公开了一种石英晶片腐蚀装置,包括凸轮和与凸轮同轴连接的转轴,凸轮内部在其大端一侧设有第一空腔和第二空腔,第一空腔内装有腐蚀液,第二空腔内装有清洁液;所述第一空腔的出口处设置有第一挡片,第二空腔的出口处第二挡片述凸轮的侧壁分别上设置两条凹槽,凹槽内设置有滑臂,所述滑臂的侧壁与挡片的侧壁固定连接,滑臂的另一侧壁通过压簧与所述凹槽侧壁连接,还包括第一凸块、第二凸块,第一凸块和第二凸块分别位于所述凸轮的两侧,所述凸轮的下方设置有传送装置,所述转轴下端连接有第一齿轮,所述第一齿轮连接有动力装置。本发明既能控制晶片的腐蚀程度,还能边腐蚀边清洗,省时省力。
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