Invention Publication
- Patent Title: 基于磨料抛光垫的宝石衬底的超精密加工方法
- Patent Title (English): Ultraprecision machining method for gem substrate based on abrasive material polishing pads
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Application No.: CN201610522079.3Application Date: 2016-06-30
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Publication No.: CN106625178APublication Date: 2017-05-10
- Inventor: 顾继玲
- Applicant: 天津市兰依科技股份有限公司
- Applicant Address: 天津市北辰区天津医药医疗器械工业园辰寰大厦5818室
- Assignee: 天津市兰依科技股份有限公司
- Current Assignee: 天津市兰依科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 天津市北辰区天津医药医疗器械工业园辰寰大厦5818室
- Main IPC: B24B29/02
- IPC: B24B29/02 ; C09G1/18

Abstract:
本发明属于加工领域,尤其涉及本发明属于基于磨料抛光垫的宝石衬底的超精密加工方法,用粒度不大于14微米的金刚石固结磨料抛光垫对LBO晶体进行粗抛光加工,抛光加工过程中控制抛光压力为50~600g/cm2,抛光机的转速控制在10~200rpm,并控制抛光所用的抛光液的PH值在2~6之间,抛光液的温度介于20~30℃,完成LBO晶体的粗抛光;其次,再用粒度不大于3微米的氧化铈固结磨料抛光垫对上述粗加工所得的LBO晶体进行精抛光加工,精抛光加工过程中控制抛光压力在50~600g/cm2之间,抛光转速控制在10~200rpm之间,同时调节抛光所用的抛光液的pH值在2~6之间,控制抛光液的温度在20~30℃之间,直至表面质量满足设定要求。本发明加工效率高,成品合格率高,不会造成环境污染。
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