一种用于验证能量射束点的大小的方法，所述方法包括以下步骤：在工件上的第一位置处提供具有预定大小和功率的第一射束点，为所述第一射束点变化聚焦和/或像散透镜设置，直到检测到针对射束点的最大强度为止，将用于射束点的所述最大强度的所述聚焦透镜和/或像散透镜的所检测的设置与用于具有所述预定大小和功率的射束点的所述聚焦透镜和/或像散透镜的所存储的设置比较，为不同的预定射束功率重复步骤a‑c，为所述工件上的不同位置重复步骤a‑d，其中如果所述聚焦透镜和/或像散透镜的每个检测的设置从所述聚焦透镜和/或像散透镜的对应存储的设置偏离得小于预定值，则所述射束点大小被验证。