发明授权
- 专利标题: 一种适用于曲面手机玻璃的激光直写方法
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申请号: CN201611262958.3申请日: 2016-12-30
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公开(公告)号: CN106527057B公开(公告)日: 2018-09-28
- 发明人: 高明 , 陈修涛 , 王运钢 , 韩非 , 夏焱 , 吴景舟 , 其他发明人请求不公开姓名
- 申请人: 江苏九迪激光装备科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园
- 专利权人: 江苏九迪激光装备科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏九迪激光装备科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明公开了一种适用于曲面手机玻璃的激光直写系统,用于在同时具有平面结构和曲面结构的曲面手机玻璃上进行图形曝光。所述激光直写系统包括主机、运动系统、线阵电荷耦合元件、至少三个到位传感器、至少两个数据处理模块及相应数量的空间光调制器和曝光镜头、至少两个聚焦模块、光源控制模块以及光源;所述数据处理模块和所述聚焦模块的数量相同。本发明通过对曲面手机玻璃的曲面部分和平面部分分别聚焦曝光的方式,实现对具有高低变化的曲面手机玻璃的图形曝光,曝光方式简单便捷,生产率高,成本低,良率高;此外,通过设定焦面和改变光源波长,实现了现有技术无法处理黑色光刻胶的问题。
公开/授权文献
- CN106527057A 一种适用于曲面手机玻璃的激光直写系统及方法 公开/授权日:2017-03-22
IPC分类: