本发明涉及一种真空设备泄漏检测及定位方法，属于泄漏检测技术领域，采集真空设备当前状态的振动信号，对所述振动信号进行分帧处理，将每帧数据分解为不同频率范围的多个信号分量，对所述信号分量进行处理，以提取存在疑似泄漏声信号分量及疑似泄漏声频率范围，对所述疑似泄漏声信号分量进行处理，以检测出是否存在泄漏，存在真实泄漏时，结合振动传播实际模型和真空设备不同位置的能量耗散特征，实现泄漏点定位，本发明以振动信号为处理对象，既能及时、准确发现真空设备存在泄漏，也能快速定位泄漏点位置，实现对真空设备泄漏状态的在线监测，提高真空设备运行安全系数与经济性。