配线基板、半导体装置以及半导体装置的制造方法
Abstract:
有利于半导体装置的制造效率的改善的配线基板(11)具备:支撑体(12),其具有透明性;粘接层(13),其设置于支撑体(12)的主面(12a)上,并且具有包含通过光的照射而能够分解的第3树脂的剥离层(41)、以及设置于剥离层(41)上且包含第4树脂的保护层(42);以及层叠体(21),其具有第1树脂层(14)、设置于第1树脂层(14)上的第2树脂层(19)、以及至少设置于第1树脂层(14)以及第2树脂层(19)之间的配线图案(18),并设置于粘接层(13)上。由此,能够分别制造半导体芯片(22)和作为外部连接部件的配线基板(11),因此有利于半导体装置(1)的制造效率的改善。
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