发明授权
- 专利标题： 升降销组件
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申请号： CN201580026810.7申请日： 2015-05-28
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公开(公告)号： CN106463323B公开(公告)日： 2019-01-29
- 发明人: 邦妮·T·基亚 , 贾勒帕里·拉维 , 曼朱纳塔·科普帕 , 维诺德·孔达·普拉斯 , 振雄·马修·蔡 , 阿拉维德·米亚尔·卡马斯
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权： 62/006,846 2014.06.02 US
- 国际申请： PCT/US2015/032905 2015.05.28
- 国际公布： WO2015/187453 EN 2015.12.10
- 进入国家日期： 2016-11-23
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H05H1/46
摘要：
于此提供升降销组件的实施方式。在一些实施方式中，升降销组件包含：伸长底座，由第一材料所形成，并具有形成在底座的远端中的第一特征结构，以与尖端接合并可移除地支撑尖端；及尖端，由不同于第一材料的第二材料所形成，并在尖端的第一侧及尖端的相对第二侧上具有支撑表面，其中相对第二侧包含第二特征结构，以匹配底座的第一特征结构，以可移除地将尖端保持于底座的远端上。
公开/授权文献
- CN106463323A 升降销组件 公开/授权日：2017-02-22
