发明授权

电镀装置
摘要:
本发明提供电镀装置,能够通过防止所谓的电流线的绕行的产生、避免不希望的电镀的生长而使安装于电镀用夹具的表背两面的2片晶片的电镀厚度均匀的电镀装置。本发明所涉及的电镀装置将作为电镀处理的对象的2片晶片(7)安装于电镀用夹具(10)的表背两面,具备与所安装的2片晶片(7)的电镀处理的对象面分别对置的阳极(20)。具备:引导部(31),沿着储存电镀液的电镀槽(30)的内壁设置,能够供电镀用夹具(10)插入;以及膨胀密封部件(32),设置于引导部(31),使膨胀密封部件(32)膨胀而按压于插入至电镀槽(30)的电镀用夹具(10),由此将2片晶片(7)分槽。
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