Invention Grant
- Patent Title: 一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法
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Application No.: CN201610888284.1Application Date: 2016-10-12
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Publication No.: CN106292613BPublication Date: 2018-10-26
- Inventor: 潘春荣 , 赵坤 , 王际鹏 , 张飞 , 卢艳君
- Applicant: 江西理工大学
- Applicant Address: 江西省赣州市章贡区红旗大道86号
- Assignee: 江西理工大学
- Current Assignee: 江西理工大学
- Current Assignee Address: 江西省赣州市章贡区红旗大道86号
- Agency: 北京天奇智新知识产权代理有限公司
- Agent 李振文
- Main IPC: G05B19/418
- IPC: G05B19/418
Abstract:
本发明公开了一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法，包括分析多品种晶圆混合加工情形下单臂组合设备可调度性判定条件，包括含晶圆无PM共享的情形及有PM共享的情景；通过对系统分配虚拟晶圆进入虚拟加工模块完成晶圆加工，平衡工作负载，从而形成节拍稳定的周期性加工过程；对多晶圆混合加工过程的理论分析及计算，推导出系统存在稳态调度的完整特征约束，得到多品种晶圆混合加工时单臂组合设备稳态调度求解算法。
Public/Granted literature
- CN106292613A 一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法 Public/Granted day:2017-01-04
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IPC分类:
