多晶硅生产工艺
摘要:
本发明提供多晶硅生产工艺,将精三氯氢硅和氢气按比例混合作为原料依次通过鼓泡汽化器、出入气换热器和CVD还原炉主炉;然后将精三氯氢硅和二氯二氢硅按比例混合作为辅料通过氯硅烷汽化器生产辅料气体;经过鼓泡汽化器生成的原料气体在CVD还原炉主炉内生成多晶硅,其副产物为中间尾气与辅料气体在静态混合器中混合后通入CVD还原炉辅炉;中间尾气与辅料气体在CVD还原炉辅炉内的硅芯表面发生反应生成多晶硅,其副产物为终极尾气与原料气体在出入气换热器内换热后再通入还原尾气回收系统,本发明可以提高多晶硅的生成率和沉积速率,也可以降低终极尾气的物料总量。
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