具备预测产生结露的功能的激光装置
Abstract:
本发明涉及一种具备预测产生结露的功能的激光装置,具有预测结露的产生并且事先防止结露的产生的功能。该激光装置具备:控制部,其根据通过温度计测量到的温度以及通过湿度计测量到的湿度,来计算用于判定能否通过冷却水供给装置提供冷却水的基准温度;以及比较部,其比较基准温度和冷却水温度,冷却水供给装置在输出了用于启动激光谐振器的指令后,在冷却水温度比基准温度低时,停止冷却水的供给,当冷却水温度在基准温度以上时,开始或继续冷却水的供给。
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