发明公开
- 专利标题: 一种镀膜机
- 专利标题(英): Film coating machine
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申请号: CN201610773101.1申请日: 2016-08-30
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公开(公告)号: CN106119800A公开(公告)日: 2016-11-16
- 发明人: 彭建 , 施戈 , 李长栋 , 田琳
- 申请人: 北京泰科诺科技有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区崔村镇西辛峰村南6区1号
- 专利权人: 北京泰科诺科技有限公司
- 当前专利权人: 北京泰科诺科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区崔村镇西辛峰村南6区1号
- 代理机构: 北京高沃律师事务所
- 代理商 李娜
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/56
摘要:
本发明公开了一种镀膜机,包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心,装料机构设置于真空炉顶端靠近边缘处,装料机构的底部与真空炉连通;溅射靶组位于真空炉顶端且与装料机构相邻处;传动输送机构设置于真空炉内且与溅射靶组对应,传动输送机构的底端与真空炉的底部内侧可拆卸连接;真空抽吸组位于真空炉的外侧并通过管道与真空炉相通;装料机构内侧壁上设置有一加热系统;传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与控制中心电连接。本发明中的镀膜机分三个阶段抽真空,保证抽真空时不产生明显压差,避免粉末飞起;传动输送机构一体设置便于拆卸替换或清理,还可根据粉体颗粒的大小进行合适的振动源的调节。
公开/授权文献
- CN106119800B 一种镀膜机 公开/授权日:2019-06-21
IPC分类: