一种镀膜机
摘要:
本发明公开了一种镀膜机,包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心,装料机构设置于真空炉顶端靠近边缘处,装料机构的底部与真空炉连通;溅射靶组位于真空炉顶端且与装料机构相邻处;传动输送机构设置于真空炉内且与溅射靶组对应,传动输送机构的底端与真空炉的底部内侧可拆卸连接;真空抽吸组位于真空炉的外侧并通过管道与真空炉相通;装料机构内侧壁上设置有一加热系统;传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与控制中心电连接。本发明中的镀膜机分三个阶段抽真空,保证抽真空时不产生明显压差,避免粉末飞起;传动输送机构一体设置便于拆卸替换或清理,还可根据粉体颗粒的大小进行合适的振动源的调节。
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